| 姓名 | 尹志尧 | 职务 | 董事长 |
| 性别/年龄 | 男/81 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 尹志尧先生，1944年生，美国国籍，中国科学技术大学学士，加州大学洛杉矶分校博士。1984年至1986年，就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官；2004年至今，担任中微公司董事长及总经理。 |
| 姓名 | 朱民 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/52 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 朱民先生，1973年生，中国国籍，华东政法大学学士，华东师范大学硕士。1995年至1999年，担任上海金桥（集团）有限公司法律顾问、团委书记；1999年至2003年，历任上海市经营者资质评价中心信息部副部长、部长；2003年至2007年，历任上海市国资委企业改革处主任科员、上海市国资委办公室主任科员；2007年至2010年，担任上海市国资委办公室副主任、援藏任西藏日喀则地区国资委副主任；2010年至2014年，历任上海市国资委办公室副主任、上海市国资委直属单位管理办公室主任、直属单位党委副书记；2014年至今，历任上海科技创业投资（集团）有限公司副总经理、党委副书记、总裁、上海国有资本投资有限公司科创总监。现任中微公司董事。 |
| 姓名 | 李鑫 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/45 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 李鑫先生，1980年生，硕士学历，曾任上海颐广电子科技公司执行董事、总经理、上海广电电子股份有限公司副总经理、上海索广电子有限公司副总经理、党委书记、上海仪电控股（集团）公司战略企划部总经理、副总经济师、上海仪电（集团）有限公司副总裁等职务。2024年10月起任上海国有资本投资有限公司副总裁。 |
| 姓名 | 杨卓 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/39 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 杨卓先生，1986年生，硕士学历，高级经济师，2009年加入国家开发银行深圳市分行，历任评审处副处长、客户五处处长。2023年加入华芯投资管理有限责任公司，任投资三部总经理；2024年至今，任华芯投资管理有限责任公司投资五部总经理。现任中微公司董事。 |
| 姓名 | 丛海 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/58 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 丛海先生，1967年生，新加坡国立大学硕士研究生。1995年至2002年，担任新加坡特许半导体蚀刻资深工程师；2002年至2003年，担任美国台积电海外厂蚀刻资深工程师；2003年至2018年，担任新加坡GlobalFoundries研发部门蚀刻部技术总监；2018年至今，担任中微公司集团副总裁，刻蚀和外延产品部总经理。现任中微公司董事、副总经理。 |
| 姓名 | 陶珩 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/50 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 陶珩先生，1975年生，中国国籍，上海交通大学硕士研究生。1997年至2002年，担任武汉理工大学校办工厂机械工程师；2002年至2003年担任捷锐气压设备（上海）有限公司机械工程师；2003年至2005年担任精技机电（上海）有限公司机械工程师。2005至今，历任中微公司执行总监、副总裁、集团副总裁，LPCVD产品部和公共平台工程部总经理、CVD产品部及公共工程部总经理。现任中微公司董事、副总经理。 |
| 姓名 | 张聿 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/53 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 张聿先生，1972年生，美国夏威夷大学硕士研究生。2008年至2010年，任恩智浦机顶盒业务部全球总经理；2010年至2013年，任PMCS全球副总裁兼中国区总裁；2013年至2014年，任建信投资执行董事。2016年至2023年，任华登投资咨询（北京）有限公司管理合伙人；2024年至今，任上海华登高科私募基金管理有限公司管理合伙人。现任中微公司独立董事。 |
| 姓名 | 徐萍 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/56 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 徐萍女士，1969年生，北京大学法学学士，复旦大学法律硕士。2003年至2022年，任天元律师事务所合伙人，主要从事证券、公司收购与兼并、资产重组以及境外融资业务；2016年至2019年，任中国证监会第六届并购重组审核委员会委员；2023年至今，任汉坤律师事务所合伙人（境内证券业务主要负责人）。 |
| 姓名 | 孙铮 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/68 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 孙铮先生，1957年生，经济学（会计学）博士。曾任上海财经大学校学术委员会主任委员、副校长、商学院院长，财政部中国会计准则委员会委员,中国会计学会副会长，上海证券交易所上市委员会委员。现任上海财经大学资深教授，中国注册会计师协会资深会员（非执业会员），澳大利亚注册会计师公会（CPAAustralia）资深注册会计师、荣誉会员（FCPA）。 |